多晶硅坩埚烧结炉
一、多晶硅坩埚烧结炉概述
多晶硅坩埚烧结炉主要用于光伏太阳能产业,用于多晶硅铸锭工艺中的坩埚氮化硅喷涂后的烘烤固化,也可用于其它行业各类制品的加热处理和烧结。它去除了国内传统烧结炉的台车轨道,改用聚氨酯活动轮,既节省了空间,方便了台车的装卸料,用户也不必预作设备基础,放在平地上就能使用。传统烧结炉的台车是在固定的轨道上往返运动,不能离开轨道,只能一辆台车工作,而本烧结炉不但活动范围大(不需要轨道),而且可以两辆台车轮流使用,省去了因台车在装卸料过程中的等待时间,提高了生产效率。烧结炉采用复合型隔热层,所用的耐火保温材料以及电加热元件采用好的产品,具有体积小、外形美观、温度控制精确等特点,操作简单、方便。
二、多晶硅坩埚烧结炉特点
多层保温结构;侧面炉壳和炉门采用双层隔热结构,外壳温度低,绝热性好。
加热方式:加热元件合理布置于炉膛两侧、后墙、炉门、台车工作面底部,共5面加热提高炉温均匀性。
加热元件:优良合金丝制作成螺旋状或波纹状,缠绕在陶瓷管或瓷钉组上,有效保证其热辐射性和寿命。
台车工作面上铺设碳化硅炉板,保护底部加热元件。
台车采用一体化路轨或无轨式(根据用户要求)。
炉膛两侧配置冷却风机,顶部开排气通道,有效地提高冷却速度。
温差:炉膛内部温差在5℃ 以内。
控温精度:±1℃
用户可根据热处理工艺编辑曲线,操作简单。